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半导体划片机国产化进展!

来源: 国产划片机 宣布时间:2022-05-21

国产化半导体封测设备业务包括划片机、切割周边设备、切割耗材、焦点零部件空气主轴等产品,主要应用于半导体封测环节的切割研磨工序。从磨砂处理到芯片爆发晶圆切割也叫划片,是将晶圆经过磨砂处理后,切割成一个个单独的芯片,为后续进展工序做准备的历程。

半导体是许多工颐魅整机设备的焦点,普遍应?于盘算机、消费类电子、?络通信、 汽?电子等焦点领域,半导体主要由四个部分组成:集成电路、光电器件、分立 器件和传感器,其龙八国际成电路在全球总销售额中的占比高达 80%以上,是半导 体工业链的焦点领域。因此,精密划片机需要解决以下一系列问题:

(1)机械系统要求高强度、高稳定性

划切历程中,精密精密划片机各运动轴系高速运动爆发的惯性及自身的重量易使机械系统爆发共振。划切历程中,要求事情台密集而短促的往复运动引发了高频的共振状态,这对设备的性能有很大的影响。由于划切工艺特性限制,精密划片机恒久处于带粉尘颗粒的相对卑劣的情况中,以及事情台的往复运动,加速了机械结构的磨损。因此要求精密划片机机械系统具有高强度和耐磨损包管恒久高稳定性。

(2)高精度和高速运动特性

从国际精密划片机生长趋势可以了解到,国际精密划片机定位精度2μm/300mm,而海内定位精度5μm/300mm,然而海内龙八国际半导体与国际上划片机精度坚持一致。为提高精密划片机的精度,要求机械运动部件加工精度高、变形小,且无误差累计。开环控制不可包管精度要求,因此需要选择闭环控制。而包管在闭环控制的同时对划切效率不影响或较小影响对闭环控制提出了更高的要求。事情台高速运动,要求机械结构负重较小,需要接纳轻质质料,而高速运动的事情台因抗振性要求很高的刚度,这两种情况需要机械结构向两个截然差别的偏向设计,设计上保存相互矛盾。

(3)机械系统要求快速响应

芯片的大直径、小切痕、高集成度,对划切机系统的稳定性和运动系统的快速响应都有极高的要求。视觉识别瞄准图像时,各运动轴系的精度、运动速度和动态响应速度将直接影响自动识别的瞄准效率和准确性。

(4)智能化高效率划切要求

为提高划切效率,提高划切质量,降低芯片本钱,要求精密划片性能够越发智能化高效率,降低人工劳动本钱。关于上述问题,划片机厂家龙八国际对高精度和高效率划切技术进行了研究。

集成电路工业链通常以芯片设计、制造和封装测试为三大环节,从市场需求调研 中来再回到市场需求中去,是一个闭环回路。设备质料与制造和封装测试联系最为紧密,对应分为前道设备和后道设备,晶圆质料和封装质料。设备质料在高端 领域处于美欧日垄断状态,“卡脖子”问题突出,是目今及未来国产化重点突破 的领域。

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