来源: 国产划片机 宣布时间:2022-12-21
半导体基材要害,划片切割属于精密加工。切割机是使用刀片,高精度地切断硅、玻璃、陶瓷等被加工物的装置,划片设备广泛用于半导体晶片、EMC导线架、陶瓷薄板、PCB、蓝宝石玻璃等质料的精密切割,其中半导体晶片切割机主要用于封装环节,是将含有许多芯片的wafer晶圆支解成一个一个晶片颗粒的设备,例如用于LED晶片的支解,形成LED芯粒。
芯片制造中,划片设备这部分成原来自直接用于器件及晶圆制造的设备。在本钱盘算中以牢固的一般治理用度或折旧的形式泛起。折旧是机械由于磨损或变得过时而造成的价值损失。
精密划片机目前以砂轮机械切割为主,激光是重要增补。划片机主要包括砂轮划片机和激光划片机:
(1)砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备,在海内也称为精密砂轮切割机。
(2)激光划片机是利用高能激光束照射在工件外貌,使被照射区域局部熔化、气化、从而抵达划片的目的。
目前市场以砂轮划片机为主,主要是:
(1)激光切割不可使用大功率以免爆发热影响区(HAZ)破坏芯片。
(2)激光切割设备很是腾贵。
(3)激光切割不可做到一次切透(因为HAZ问题),因而第二次切割照旧用划片刀来最终完成。