来源: 国产划片机 宣布时间：2021-12-18
划片机是包括砂轮划片机和激光划片机，那么影响晶圆切割机划切效果可以这么剖析：
1、划片平行度。
如果划片主轴水平不切合要求，切割后的刀槽会变宽，边沿会严重坍塌。例如，HAD1601刀具切割硅晶圆，主轴转速3万r/min、划切速度20mm/s时间。理想的刀痕为0.030～0.035mm，当主轴打标水平即是5时μm实测刀痕为0.045mm。
2、划片笔直度。
如果划片切割后工件的刀槽一侧坍塌，裂纹严重，另一侧正常，通常由于主轴笔直度缺乏，可凭据坍塌边沿确定主轴的仰角或俯角。
3、划片主轴速度。
划片主轴速度匹配切割速度，影响切割效果的是主轴速度，理论上增加主轴速度，提高切割速度，确保牢固线速度不影响切割效果，但差别速度规模内的主轴振动差别，需要找到最佳组合点，在包管切割效果的前提下提高效率。注：选择主轴速度时，注意工具允许的最大速度，如龙八国际的PIA直径50的系列刀具mm(2寸)刀盘时，最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盘时，最高速度<40000r/min。刀具在凌驾允许的最高速度时会自动解体。
